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特 長

1. 膜厚散布: 每托盤內 ±1.2%, 各盤之間 ±1.5%
2. 形狀: W1200 × D2500 × H1440 mm, 裝置面積不変且機臺凹凸度大幅下降。

3. 經由過程改進陰極使靶材利用效力進步到44％。

4. "接納齒條輪搬送體例，消弭了舊機臺因滑輪打滑形成的搬送不暢景象。

5. 進步操縱的便利性:
   報警后操縱屏上會顯現報警內容
   可對各托盤設定菜單
   最大可鍍膜10車/次

用 途

1. 小型電子零部件的電極膜和掩護膜

裝備組成

機臺尺寸

W2500 × D1200 × H1440 毫米

組成

托盤籌辦室 / 籌辦室 / SP室
真空槽內折返體例

濺射體例

DC磁控管

陰極

5 英寸× 7 英寸, 2 組
(此中1組為高效陰極)

DC電源

800V, 3.75A (最大 1.5kW)

托盤尺寸

L350mm × H210mm

基板搬送體例

齒條輪搬送

托盤籌辦室

可安排10套托盤

排氣體系

渦輪份子泵; 2 套
施轉式油泵; 2 套

性 能

膜厚散布

每托盤內±1.2%, 托盤之間±1.5%

靶材利用效力

44 % (最大)

產能

3 分鐘 / 一濺鍍周期 (第一盤徐外)

達到壓力

籌辦室: 1.0 × 10^-3 Pa以下
SP室: 1.0 × 10^-3 Pa以下

排氣時辰

籌辦室: 3 分鐘內達到 2.0 × 10^-2 Pa
SP室: 10 分鐘內達到 1.2 × 10^-2 Pa

基板加熱溫度

150°C (最大)

※裝備規格/表面可改進或變革。
※本產物有外匯和計謀物質按照國際商業辦理體例的劃定相稱出口限定物品的環境。 因此在把符合合品拿到日本外洋的時辰拿到日本國當局的出口允許請求須要的手續。